氩气作为光谱仪重要的分析条件，对检测正常使用，结果准确有至关重要的作用，一般要求99.999%纯度的氩气，但在现实中，由于氩气厂家自己大多都没有检测这么高纯度的设备，全凭经验，氩气厂层次不齐，标注为5个9的氩气，实际使用可能达不到，我们自己也只能靠检测过程的各种特征现象分析氩气是否纯度足够。

(1) 普通氩气纯度一般不会高于四个9,氩气的的主要功能是对钨电极保护作用,一般光谱激发时由于瞬间电压高、电流大,激发温度都很高,如果氩气纯度不够，对钨电极就会损伤，而且一些高溶点的物质如硅等就激发不充分，在金属表面就会有很多白点，造成检测数据不准。

(2) 普氩还是不要用，几个月后就会激发不了样子了，当然，如果氩气净化器是新的，还能多撑一段时间，不过普氩里杂质较多，对光路尤其是透镜的损坏较大，强烈推荐不用普氩

(3) 氩气不纯，影响大的是透镜，导致透镜污染，影响直读光谱仪分析谱线；再者激发时声音表现无力，激发点不充分燃烧，直接影响分析数据，所得数据偏离实际值，不准确。

(4) 高纯氩作为火花室保护气的主体，其纯度高才会形成需要的“聚能放电”否则就是所谓的“扩散放电”引起不良的激发。样品的组织结构越复杂，对氩气的纯度要求就越严格。